激光调阻机测量误差指测量系统测得值与真实值之间的差异。测量系统电路的精心设计及选用高性能的器件可保证测量系统的高稳定性和微小波动性，并能一定程度地提高测量精度。实际应用发现，虽精心设计测量系统电路并选用高性能的器件，测量系统的测量误差对测量精度仍有较大影响，进而对调阻精度产生不可忽视的影响。
通过测量系统电路的精心设计及选用高性能的器件这两方面的改进来减小测量误差，提高测量精度是有限度的，而且成本高、周期长。所以，为保证调阻精度，需探求其他方法来减小测量误差对测量精度及调阻精度的影响。
激光调阻机测量系统的测量误差主要由电压源误差、标准电阻误差、检流计误差(包括多量程的模拟电路误差、电流／电压转换误差)及A／D量化误差等造成。其中，电压源误差在保证其高稳定性和微小波动性的前提下主要体现为D／A 的线性度误差。经设计调试，该误差可控制在几十肚V级之内且能保持恒定不变，所以电压源误差可看作恒定的系统误差；标准电阻误差、A／D量化误差及检流计误差中的电流／电压转换误差亦看作恒定的系统误差。
检流计误差中的多量程(20 A～200 mA)模拟电路误差，对不同的电流档可看成恒定的系统误差，但由于多量程检流计共用一个电流／电压转换电路，因此造成系统最终的测量电压(测量系统测得值，被送至阻值计算单元)误差在几1"nV到几百1"nV 之间变化。由于检流计不同量程的模拟电路误差是不同的，所以激光调阻机测量误差相应地由多档测量误差组成，称为激光调阻机多档测量误差。
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