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LT5110激光调阻机 
 
设备特点

 

•高性价比:功能强大,满足大部分调阻应用,价格不及进口的1/5,大大降低了激光调阻应用的门槛

•调阻精度高:独特的测控技术,测量控制系统精度的一致性好,提升产品附加值;成品率高,单位成本下降。

•软件可编程:可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行,也可作为专门的测试平台,适应性广。

•使用成本低:采用了最先进的激光器,无耗材,使用成本最低,长期使用节约大量的费用。

•多功能:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,减少设备的再投入。

•专业大理石基座,可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动,同时保持机台温度的稳定性,可靠性高。

 

主要技术参数


 

激光系统

型号规格

LT5110

激光波长

1064nm

激光功率

10W

典型光斑尺寸

35±5µm

对焦方式

自动,计算机程序控制

冷却方式

风冷

激光束定位系统

激光束运动范围

60mm X 60mm

运动分辨率

0.76µm

重复定位精度

±5µm

分步重复运动系统

运动方式

精密闭环XY平台

运动范围

300mm*300mm

重复定位精度

±5µm

运动速度(空载)

180mm/s

测量系统

电阻测量方式

四线制测量或二线制测量

电阻测量精度

中阻 ± 0.05%

电阻测量范围

0.1Ω-100MΩ

测量速度

25µs/

零点及满程误差校正

自动校正

探针定义

可编程任意设定

探针板运动

自动,计算机程序控制

 
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