激光调阻机之所以是目前为止最精密的调阻设备，是因为很多电路对电阻的阻值要求十分精确，相对误差要求达到千分之几甚至万分之几。激光调阻采用了自动化工艺，可以一机抵传统工艺的多人，减少了大量的人工成本，特别在批量生产时拥有很大优势。采用电位器调整或人工换电阻的方式，调整一个产品至少需要3S以上的时间，而采用激光调阻工艺可能不到1S，一台激光调阻机比传统工艺至少可以抵三个人力，而且精度更高。

激光调阻机的修调控制方式：

1 修调切口类型；

电阻修调切口基本形状包括有:单口直修调,双口直修调,L形修调,U形修调, L、J、U形修调及其组合。合理选择这些修调切口类型及其组合可以获得更好的效果。综合精度、激光扫描速度、稳定性因素及激光束光斑直径和聚焦稳定性控制难易程度等因素,结合铂薄膜热敏电阻制作过程中的实际情况。

2 测试原理

在电阻测试中采用的是恒流测压方法。即施加已知的恒定电流I流过被测电阻Rt,然后测试出电阻两端的电压V,根据公式Rt=V/I就可以计算出电阻值,V是具有极高输入阻抗的电压表,它对恒流电流源不产生分流作用。当被测电阻阻值较小时,测试的引线电阻和探针与测试点的接触电阻与被测电阻相比已不能忽略不计,这时仍使用两线测试方法必将导致测试误差大大增大。在这种情况下就必须采用开尔芬联接方式(或称四线测试方式)来进行测试。

3 确定蛇型修调切割槽长度

对于铂薄膜而言,由于其电阻率较小,为了得到一定的电阻阻值,就需要较长的蛇型修调切割槽长度。紫外激光调阻机是利用for…next循环来实现蛇型修调的,本文通过激光刻蚀实验来确定蛇形修调切割槽的长度,也就是用激光调阻机对铂薄膜进行刻蚀,执行不同的刻蚀命令即增加for...next循环次数,查看不同for...next循环次数条件下电阻阻值的变化量,然后利用这些电阻阻值的变化量反向推导出微调一定阻值所需的切割槽长度。

4 单口直修调

为了进一步提高调阻精度,蛇型微调结束后,再进行单口直修调,单口直修调与蛇型修调组合在一起,能够保证铂薄膜热敏电阻的阻值精度在0.1%范围内。由于该方法需测量待修调电阻的阻值,所以调阻速度较慢,一般用在调阻精度要求较高的场合。

20世纪60年代初激光器问世一来，经过20多年的发展，现已成为一种非常成熟的技术，广泛用于混合电路制造业。国内外不少混合电路厂家都采用激光调阻工艺。与其他调阻技术相比，激光调阻的精度高，效率高。

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