激光调阻技术原理及系统组成
现代激光技术是制造高性能混合电路的重要手段，激光器自20世纪60年代初问世以来，经过多年的发展，现已成为一种非常成熟的技术，广泛用于混合电路制造业和压阻式传感器制造业中电阻的精密修调中。
现代激光调阻技术不仅能对厚膜基片进行调阻，而且能对组装后的混合集成电路进行微调，保证电路的功能。随着混合电路向高性能、高可靠和高密度发展，激光调阻技术在混合电路与压阻式传感器制造中的作用日益突出。
激光调阻机是一种精密的激光微调设备，它通过短脉冲激光扫描切割，改变电阻体的导电截面积，达到把低于目标阻值的电阻体修调到阻值允许的偏差范围内，适用于片状电阻的快速大规模生产。激光调阻机的主要构成为：输出脉冲频率可调的调Q脉冲YAG激光器， 由光学系统汇聚成25μm直径的光斑，照射到载台上的片式电阻基片上。基片电阻浆料层受激光加热气化，形成一定深度的刻痕，从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度。高速高精度在线电阻测量系统，测量电阻器的阻值，当阻值达到标称值时，由电控开关关断激光，完成此片式电阻的修整过程。由一台X－Y方向激光扫描振镜完成一行电阻器的修调。然后，运动控制系统驱动载片台向前运动一个行距的位置，重复上述过程完成第二行调阻，依此类推，直至调完一片。这些工作都是在一台计算机统一控制下协调高速地进行。
激光精密加工在诸如薄膜电路的功能微调、压电石英谐振腔和单层滤波器的微调、光掩膜的修正、具有分布参数的超高频电路的微调、光学度盘和分划板的刻制等工业领域将得到越来越广泛的应用。