激光微调系统核心组成部分

激光微调系统（激光调阻设备、激光调电阻设备）主要包括以下几个部分：  

（1）激光器部分 

用氪激励的高频Q开关、Nd:YAG激光器，厚膜修调最小光斑达38μm，脉冲重复频率为500Hz～50kHz。 

（2）光束定位系统  

分为线性马达式、开环和闭环检流计式等。控制光束在X和Y方向的位置、速度和加速度。缩短光束定位时间和修调时间，工作效率高。 

（3）程控衰减系统 

由多个衰减器组成，以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。 

（4）修调设定器 

它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调方向，决定阻值变化，而不影响精度。另外，还具有自动校正功能，在长期工作时可使修调设定值保持稳定。 

（5）阻值及电压测定装置 

采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络，阻值测量精度可达0.02％，测量时间仅为5ms。这种设计可以防止外界干扰，且由于采用差动测量，自动消除偏离及极性转换，还可用来测定有源电路修调时的直流电压。 

（6）自动功率测量系统 

激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定。用微机控制螺形管驱动系统，激光束通过衰减器内的100％反射镜，射向热电偶器件，然后送到1个多量程功率计。 

激光微调主要应用方案

简易型调阻方案： 

实现功能：通过手动控制控针，对电组进行自动精密调节。

1、激光器及控制系统：YAG50激光器 

2、光学定位系统：XY自动控制 

3、阻值测量及控制系统

4、 手动控针 

标准型调阻方案： 

实现功能：通过自动控制控针，对批量电组进行自动精密调节。 

1、激光器及控制系统：YAG50激光器

2、 光学定位系统：五维工作方式 

3、阻值测量及控制系统

4、 自动控针：自动上、下 

5、监控系统：双路CCD监控 

在线功能调阻方案： 

实现功能：通过电路中电组进行精密调节，完成电路功能。 

1、激光器及控制系统：YAG50激光器 

2、光学定位系统：XY自动控制

3、阻值测量及控制系统

4、 自动控针：手动 

5、功能信号接口：根据电路功能要求