激光微调电阻应用方案

     激光加工属于非接触加工，它具有热影响区小（能量密度高）、无污染（不接触加工工件）、便于自动化控制（激光束易于聚焦、导向）、精度高等优点，因此在电子工业中，尤其是在微电子工业中得到了广泛的应用。

     用激光微调的电阻是印刷上的一层电阻薄膜，由于丝网印刷操作时的不准确性，基板表面不均匀以及烧结条件难以重复等原因，丝网印刷电阻制造误差通常可达15-20％，只有对之进行微调才能提高精度、满足市场要求。激光调阻机是利用激光对膜电阻进行精密修调的关键设备。

     激光微调电阻有两种方案，方法一是对电阻进行无损伤照射，使电阻膜结构发生变化，从而达到改变阻值的目的；方法二是利用激光束切割，改变电阻膜导电的形状，从而改变电阻值，以达到把低于目标阻值的电阻体阻值调整到要求的阻值允许的偏差范围内。在实际操作中，由于方法一效率低下，不适宜市场化推广；目前激光调阻采用方法二。

     激光器是激光调阻的核心设备，其功能为发射激光束切割电阻膜，控制电路部分用来控制激光束的偏转及激光器的开关，激光束打在待调电阻上，用来刻蚀电阻（包括粗调和精调）。

     机械/面板控制部分负责电阻基片载台的运动控制、机械手的运动控制、告警信号及面板的键盘输入。

     激光器是激光调阻机的总控制部分，负责协调与控制整个系统。它提供同步信号，负责各部分的同步，同时负责各部分的初始数据的设置和在工作过程中监视各部门的工作状态。

     电源系统是提供各部分一次电源，各板根据需要再进行二次稳压、滤波，以减少电源的文波，提高电源的精度，以便提高检测的精度和系统的稳定性。

     监视器负责见识激光调阻机基片载台，用来观察激光束以及红外测温位置。

     多功能控制器是激光调阻机功能实现的关键部分之一。多功能控制器主要负责电阻调阻过程中的实时检测与控制，在测量过程中，要求检测精度高、速度快。多功能控制器由温度监控系统、激励源（高精度稳恒直流源、连续可调电压源）、AD采集板、探针板和单片机组成。温度监控系统实时检测被调电阻的温度，为热敏电阻调阻提供温度参考；高精度稳恒直流源为激光电阻调阻提供可选稳恒直流电流输出；连续可调电压源为功能调阻提供0~20V高精度电压激励源；AD采集板负责实时采集测量信息以及温度检测值，根据其控制激光器的调阻进程；探针板通过探针与检测件链接，传递激励源信号与检测电阻值；单片机为多功能控制器的控制单元。

激光调阻机的工作过程如下：

（1）探针探测待测电阻（或印刷电路）；

（2）激励源给待测电阻（或印刷电路）供电；

（3）检测装置测量电阻器的阻值或印刷电路的输出；

（4）激光定位在调整的开始点；

（5）激光器发激光脉冲；

（6）激光器将检测装置的测量值与预定值比较，若在公差范围内则关闭激光器，否则继续发出激光脉冲；

（7）重复该过程，直到检测装置的测量值处于程序中规定的公差范围内。