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薄膜电阻安排上激光调阻机 
 
利用激光对薄膜电阻进行微调具有以下特点:

1、激光微调属于非接触式加工,激光束能量密度高,加工速度快,对基板损伤小,且激光光束照射的电阻表面是局部的,属于局部加工,对周围污染和热量影响小,微调后阻值稳定,漂移小。

2、激光束可以聚焦成非常细的光斑,而且可以边测量边加工,加工精度高,重复精度好。

3、光束的能量和光束的扫描速度都是可以调节的,故激光微调可以实现对不同的电阻材料和不同的微调形状的加工。

4、激光微调具有速度快,易于实现整个加工过程自动化。调阻过程可以完全由计算机控制自动完成,因而具有高速、高精度等一系列优点。

5、生产效率高,加工质量稳定可靠,经济效益和社会效益好。

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