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科普课堂-激光调阻机部件说明

部件名称 部件作用
探针电机         用来控制探针板升降
激光器电机  用来控制激光器升降
激光器           用来产生激光
扫描头         控制激光束运动
平面电机控制器 控制平面电机运动  
控制盒      控制整机的供电
驱动盒     驱动探针电机和激光器电机
测量盒      提供激励和测量
平面电机   控制载片台运动
载片台  用来放置电阻陶瓷片基
θ角旋转台     用来调节载片台θ角度
探针板           用来焊接探针
工作台   包含平面电机的动子和载片台
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