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片式电阻的阻值与激光刻蚀路径的关系
 
   激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片式电阻阻值提供理论依据。
   片式电阻因其体积小,精度高,可靠性好等优点被广泛的应用于许多领域,有替代传统电阻的趋势。为了保证片式电阻的精度,通常需要对片式电阻的阻值进行修调、激光调阻是目前较为精密的电阻阻值修调方法,其基本原理是将适当功率的激光束聚焦在电阻膜上,电阻材料因受高温,在瞬间即被气化,随着机关术的移动,电阻膜被切割,电阻体的导电横截面积减小,阻值上升,激光在电阻膜上的扫描路径又称为刻蚀路径。
   利用有限元法得到的片式电阻与刻蚀路径的关系函数的计算偏差不大于2%,基于有限元法的激光刻蚀路径对片式电阻精度的影响为精调片式电阻阻值提供了控制依据.
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