网站首页
新闻资讯
公司新闻
首页 > 新闻资讯 > 浅析激光调阻机是如何进行调阻的以及调阻系统的构成
            浅析激光调阻机是如何进行调阻的以及调阻系统的组成
 
   激光调阻机是利用激光工艺对薄膜电阻进行精密修整的关键设备,是集光学、精密机械、计算机控制、和精密测量等技术于一体的高技术微电子设备。其工作原理是把激光器发出的脉冲激光束聚焦成很小的光点,达到适当的能量密度,对薄膜电阻的导电体进行切割,使之膜层熔融、蒸发,以改 变薄膜电阻导电体的有效导电面积或有效导电长度,达到调整薄膜电阻单元阻值的目的。
 
   由于切割中没有化学过程并能在大气中加工,所以可以实时测量结果,并实现激光加工过程自动化。激光调阻设备具有精度高、效率高和工艺简便的特点。激光调阻时首先对电阻的刻蚀图形预先利用AutoCAD设计好,并输入到计算机。计算机根据预置图形产生光束的强度与位置使激光按照一定的轨迹和路径切割电阻,直到阻值达到预定值。激光切割实现了激光加工过程的自动化,并具有高精度、高效率等特点。
 
   激光调阻系统整体设计激光调阻系统主要由以下几部分构成:
   1)光学系统,包括激光器、调整激光光束质量的光路、二维振镜系统、机器视觉成像监控系统等。
   2)机械运动系统,实现平台的精密二维运动、垂直方向高度调节等功能。
   3)自动控制系统,对机械运动系统、二维振镜系统等运动参数进行精密控制
版权所有:武汉三工精密制造有限公司 鄂ICP备17001048号
地址:武汉东湖新技术开发区黄龙山北路4号(光谷一路与黄龙山北路交汇处)
电话:027-59721015 传真:027-59721017